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Fiche équipement
FIB (Focus Ions Beam)

Description
MEB LEO 1530 (canon à effet de champ) équipé d’une colonne FIB (Focus Ions Beam, Faisceau Ionique Focalisé) Orsay Physics. La largeur de faisceau est de l’ordre de 15 nm. L’énergie du faisceau ionique (Ga+) est habituellement de 30keV. L’originalité du système est de pouvoir utiliser des éléments autres que le Ga pour nano-structurer les échantillons.
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Tags
  • balayage
  • canon
  • colonne
  • effet de champ
  • effet tunnel
  • faisceau
  • ion
  • ionique
  • MEB
  • microscope
  • nano

Université Paris Sud - Sciences (Université Paris Sud - Sciences)

http://www.sciences.u-psud.fr/fr/index.html

CSNSM

Nom : Centre de Sciences Nucléaires et Sciences de la Matière

Name : Center of Nuclears sciences and Material Sciences

Etablissement : Université Paris Sud - Sciences

Laboratoire de recherche : Oui

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