MEB LEO 1530 (canon à effet de champ) équipé d’une colonne FIB (Focus Ions Beam, Faisceau Ionique Focalisé) Orsay Physics. La largeur de faisceau est de l’ordre de 15 nm. L’énergie du faisceau ionique (Ga+) est habituellement de 30keV. L’originalité du système est de pouvoir utiliser des éléments autres que le Ga pour nano-structurer les échantillons.
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